Altera S 15.10.8
    发布时间: 2020-04-01 10:58    
Altera S 15.10.8
技术规格
主要规格参数 ALTERA S 15.10.8
有效测量范围 X轴（沿工作台移动方向） 1500mm
Y轴（沿横梁移动方向） 1000mm
Z轴 800mm
测量精度mm 最大允许示值误差MPEE 1.8+L/400 μm
（18-22℃）
最大允许探测误差MPEP 1.6 μm
宽温度范围测量精度 最大允许示值误差MPEE 1.8+L/300μm
（16-26℃）
最大三维速度 762 mm/s
最大三维加速度 2290 mm/s2
环境温度要求 最大使用温度范围 10－30℃
保证精度使用范围 18－22℃
温度梯度（时间） 1℃/h      2℃/24h
温度梯度（空间） 1℃/m
气源要求 供气压力 不小于6.3 Bar (90psi)
（必须经过精过滤）
气体流量 不小于140~200NL/min
环境湿度要求 20%－80%无冷凝