位移平台MD-336技术规格】

XY轴行程（mm）±50 .5 

θz轴中心处角度范围（°）±5°

台面尺寸（mm）：200×100

对位平台中丝杠Φ8导程2mm，滚珠丝杠 

对位平台中导轨：SV2交叉滚柱导轨

主体材料及表面处理：铝合金，黑色阳氧化处理

整体自重10（kg）

重复定位精度（μm）：＜±3

静态平行度（μm）：＜30

＜

运动平行度（μm）：＜20

电机：28步进电机（1.8°）

限位传感器：每轴2个

原点传感器：每轴1个

负载

整体水平负载（kg）：20

运动算法：运动算法公式