Z1轴（检出器）测量范围

800 μm、80 μm、8 μm

Z1轴（检出器）测长单元

差动电感式

Z1轴（检出器）分辨力

0.01μm（800 μm）0.001 μm（80 μm）0.0001 μm（8 μm）

直线度（X轴水平时）

（0.05＋0.001L）μm L为驱动长度（mm）

测针垂直运动

弧形移动

测量方向

拉动方向

测量面方向

向下

测针测力

0.75 mN

测针针尖形状

60°、R2 μm 、金刚石

Z1轴（检出器）测量范围

60 mm(水平状态±30mm)

Z1轴（检出器）测长单元

RT检出器

Z1轴（检出器）分辨力

0.04 μm

直线度（X轴水平姿势）

0.8μm/100 mm　

指示精度

X1 轴

±（0.8＋0.01L）μm L为驱动长度（mm）

宽范围：1.8μm/100mm   窄范围：1.05μm/25mm

（20℃）

Z1轴（检出器）

±（1.2＋｜2H｜/100）μm

H：基于水平位置的测量高度（mm）

测针垂直动作

弧形移动

测量方向

推/拉方向

测量面方向

向上/ 向下

测力

30 mN

跟踪角度

向上

77°（依表面粗糙度而定）

向下

83°（依表面粗糙度而定）

*使用配置的标准测头

测针针尖

单切面测针SPH-71

尖端角度12° 尖端半径25 μm

材料

硬质合金

行程限制功能

指定范围：-29mm~+29mm

定位精度范围：±1mm