轮廓测量仪 CYO-3500  【技术规格 】

测量范围 X1 轴 120 mm

Z1轴 50 mm

类型 X1 轴 反射型线性编码器

分辨力 X1 轴 0.15 μm

Z1轴 0.15 μm

驱动速度 X1 轴 0～10 mm/s外加手动

测量速度 0.05～4 mm/s

直线度（以X1轴为水平方向上） 3.0μm/120 mm

指示精度 X1 轴 ±（3.0＋0.02L）μm L为驱动长度（mm）

（20℃） Z1轴 ±（3.0＋｜0.1H｜）μm

H：基于水平位置的测量高度（mm）

测针上／下运作 弧形移动

测量方向 向前/向后

测针方向 向下

测力     30 mN

跟踪角度 向上：77°向下：83°

测针针尖 尖端半径 25μm

材料：硬质合金

电源：AC 100～120V、200～240 V±10%、AC50/60 Hz

消耗功率：40 W